La présente invention concerne un procédé de mesure par spectrométrie de décharge luminescente d'un échantillon solide comprenant au moins une couche (13) de matériau organique, ledit procédé comprenant les étapes suivantes : on place ledit échantillon dans une lampe à décharge luminescente ; on injecte dans la lampe (2) à décharge un mélange gazeux comprenant au moins un gaz rare et de l'oxygène gazeux, la concentration en oxygène gazeux étant comprise entre 1% et 10% massique du mélange gazeux ; on applique une décharge électrique de type radiofréquence aux électrodes de ladite lampe à décharge pour générer un plasma de décharge luminescente ; on expose ladite couche de matériau organique audit plasma ; on mesure au moyen d'un spectromètre (4) au moins un signal représentatif d'une espèce ionisée et/ou d'une espèce excitée dudit plasma.