发明授权
- 专利标题： DÜNNUNGSVORRICHTUNG MIT EINER NASSÄTZEINRICHTUNG UND EINER ÜBERWACHUNGSVORRICHTUNG
- 专利标题（英）： Thinning device comprising a wet etching unit and a monitoring device
- 专利标题（中）： 带有营养装置的振动装置和监测装置
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申请号： EP11704475.0申请日： 2011-01-10
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公开(公告)号： EP2438396B1公开(公告)日： 2016-04-13
- 发明人: DUSEMUND, Claus , SCHÖNLEBER, Martin , MICHELT, Berthold , DIETZ, Christoph
- 申请人： Precitec Optronik GmbH , Dusemund Pte. Ltd.
- 申请人地址： Raiffeisenstrasse 5 63110 Rodgau DE
- 专利权人： Precitec Optronik GmbH,Dusemund Pte. Ltd.
- 当前专利权人： Precitec Optronik GmbH,Dusemund Pte. Ltd.
- 当前专利权人地址： Raiffeisenstrasse 5 63110 Rodgau DE
- 代理机构： Schweiger, Martin
- 优先权： DE102010015944 20100312; DE102010000079 20100114
- 国际公布： WO2011086490 20110721
- 主分类号： G01B11/06
- IPC分类号： G01B11/06 ; H01L21/00
公开/授权文献
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