发明公开
- 专利标题： Einrichtung und Verfahren zur Messung der Geschwindigkeit oder der Stromausbeute bei der Abscheidung oder beim Abtrag von Oberflächen und zur darauf basierenden Prozesssteuerung
- 专利标题（英）： Device and method for measuring the speed or current efficiency when depositing or removing surfaces and process control based on same
- 专利标题（中）： 装置和方法用于在沉积期间或去除表面的过程中和过程控制测量的速度或电流效率基于其
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申请号： EP11190813.3申请日： 2011-11-25
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公开(公告)号： EP2495357A3公开(公告)日： 2013-12-11
- 发明人: Giebler, Eckart , Reich, Andy , Graefenhan, Wolfgang , Kramm, Ulrich , Hubert, Christian , Wendt, Thomas
- 申请人： Somonic Solutions GmbH
- 申请人地址： Gostritzer Strasse 61-63 01217 Dresden DE
- 专利权人： Somonic Solutions GmbH
- 当前专利权人： Somonic Solutions GmbH
- 当前专利权人地址： Gostritzer Strasse 61-63 01217 Dresden DE
- 代理机构： Kaufmann, Sigfrid
- 优先权： DE102010061984 20101125
- 主分类号： C25D21/12
- IPC分类号： C25D21/12 ; C23C18/16 ; G01G3/16 ; C25F7/00 ; C25D21/14
摘要：
Die Erfindung betrifft eine Einrichtung und ein Verfahren zur Messung der Geschwindigkeit oder der Stromausbeute bei der Abscheidung oder beim Abtrag von Oberflächen bei dem ein stabförmiger Sensor in longitudinale Schwingungen versetzt wird und aus der Auswertung der Verschiebung der Eigenfrequenz bei Masseänderung des Stabes ein zeitlicher Verlauf der abgeschiedenen oder abgetragenen Masse am Sensor fortlaufend ermittelt wird.
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