- 专利标题： Method for processing an object with miniaturized structures
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申请号： EP12175894.0申请日： 2009-02-24
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公开(公告)号： EP2511764B1公开(公告)日： 2020-04-01
- 发明人: Budach, Michael , Bret, Tristan , Edinger, Klaus , Hofmann, Thorsten
- 申请人： Carl Zeiss SMT GmbH
- 申请人地址： Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen DE
- 专利权人： Carl Zeiss SMT GmbH
- 当前专利权人： Carl Zeiss SMT GmbH
- 当前专利权人地址： Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen DE
- 代理机构： Müller, Utz
- 优先权： DE102008011530 20080228; DE102008011531 20080228
- 主分类号： G03F1/00
- IPC分类号： G03F1/00 ; G03F1/74 ; H01J37/305 ; H01J37/304 ; C23C16/04
公开/授权文献
- EP2511764A1 Method for processing an object with miniaturized structures 公开/授权日：2012-10-17
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