发明授权
- 专利标题： VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR RÄUMLICH PERIODISCHEN MODIFIKATION EINER SUBSTRATOBERFLÄCHE UNTER VERWENDUNG EINER TELEZENTRISCHEN F-THETA-OPTIK
- 专利标题（英）： Method of and device for the spatially periodic modification of a substrate surface using a telecentric f-theta lens
- 专利标题（中）： 方法和装置在基板表面的国土定期修正的解析远心F-θ-OPTICS
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申请号： EP11718274.1申请日： 2011-04-12
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公开(公告)号： EP2547486B1公开(公告)日： 2016-03-02
- 发明人: SIMON, Peter , KLEIN-WIELE, Jan-Hendrik
- 申请人： Laser-Laboratorium Göttingen E.V.
- 申请人地址： Hans-Adolf-Krebs-Weg 1 37077 Göttingen DE
- 专利权人： Laser-Laboratorium Göttingen E.V.
- 当前专利权人： Laser-Laboratorium Göttingen E.V.
- 当前专利权人地址： Hans-Adolf-Krebs-Weg 1 37077 Göttingen DE
- 代理机构： Schneider, Peter Christian
- 优先权： DE102010029321 20100526; DE102010015351 20100416
- 国际公布： WO2011128063 20111020
- 主分类号： B23K26/06
- IPC分类号： B23K26/06 ; B23K26/08 ; B23K26/00 ; G03F7/20
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