发明公开
EP2573807A1 Semiconductor structure and process for bird's beak reduction
审中-公开
Halbleiterstruktur und Verfahren zur Vogelkopfreduzierung
- 专利标题： Semiconductor structure and process for bird's beak reduction
- 专利标题（中）： Halbleiterstruktur und Verfahren zur Vogelkopfreduzierung
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申请号： EP11290430.5申请日： 2011-09-23
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公开(公告)号： EP2573807A1公开(公告)日： 2013-03-27
- 发明人: Bourdelle, Konstantin
- 申请人： Soitec
- 申请人地址： Chemin des Franques Parc Technologique des Fontaines 38190 Bernin FR
- 专利权人： Soitec
- 当前专利权人： Soitec
- 当前专利权人地址： Chemin des Franques Parc Technologique des Fontaines 38190 Bernin FR
- 代理机构： Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser
- 主分类号： H01L21/762
- IPC分类号： H01L21/762
摘要：
The present invention relates to a semiconductor structure including a bulk semiconductor; a thin semiconductor layer; an insulating layer between the bulk semiconductor and the thin semiconductor layer; a trench; and a side wall doped region, on at least a region of the inner surface of the trench.
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