发明公开
EP2714325A4 ACTIVELY COMPENSATED STAGE HAVING 5-DOF MOTION ERROR COMPENSATION AND MOTION ERROR COMPENSATING METHOD THEREOF
有权
5自由度运动误差补偿和运动误差补偿方法发明ACTIVE补偿的STAGE
- 专利标题： ACTIVELY COMPENSATED STAGE HAVING 5-DOF MOTION ERROR COMPENSATION AND MOTION ERROR COMPENSATING METHOD THEREOF
- 专利标题（中）： 5自由度运动误差补偿和运动误差补偿方法发明ACTIVE补偿的STAGE
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申请号： EP12793813申请日： 2012-05-31
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公开(公告)号： EP2714325A4公开(公告)日： 2014-11-12
- 发明人: RO SEUNG KOOK , PARK JONG KWEON , KIM BYUNG SUB , LEE SUNG CHEUL
- 申请人： KOREA MACH & MATERIALS INST
- 专利权人： KOREA MACH & MATERIALS INST
- 当前专利权人： KOREA MACH & MATERIALS INST
- 优先权： KR20110052297 2011-05-31
- 主分类号： B23Q5/28
- IPC分类号： B23Q5/28 ; B23Q3/02 ; B23Q15/013 ; F16C29/02 ; F16C32/06
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