Invention Grant
EP2727202B1 ELEKTROOPTISCHES BAUELEMENT MIT STROM- UND WELLENLEITUNG DURCH SELEKTIVE OXIDATION
有权
具有电流和波线的电光学元件通过选择性氧化
- Patent Title: ELEKTROOPTISCHES BAUELEMENT MIT STROM- UND WELLENLEITUNG DURCH SELEKTIVE OXIDATION
- Patent Title (English): EP2727202B1 - Electro-optical component featuring current conduction and wave guidance by selective oxidation
- Patent Title (中): 具有电流和波线的电光学元件通过选择性氧化
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Application No.: EP12756076.1Application Date: 2012-06-21
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Publication No.: EP2727202B1Publication Date: 2017-11-15
- Inventor: STRITTMATTER, André , SCHULZE, Jan-Hindrik , GERMANN, Tim, David
- Applicant: Technische Universität Berlin
- Applicant Address: Strasse des 17. Juni 135 10623 Berlin DE
- Assignee: Technische Universität Berlin
- Current Assignee: Technische Universität Berlin
- Current Assignee Address: Strasse des 17. Juni 135 10623 Berlin DE
- Agency: Fischer, Uwe
- Priority: DE102011078176 20110628
- International Announcement: WO2013000460 20130103
- Main IPC: H01S5/227
- IPC: H01S5/227 ; H01S5/34 ; H01S5/32 ; H01S5/20 ; H01S5/22 ; H01S5/183 ; H01L33/00 ; H01L21/02
Public/Granted literature
- EP2727202A1 ELEKTROOPTISCHES BAUELEMENT MIT STROM- UND WELLENLEITUNG DURCH SELEKTIVE OXIDATION Public/Granted day:2014-05-07
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