发明授权
- 专利标题: PROCEDE DE TRAITEMENT ET DE COLLAGE DIRECT D'UNE COUCHE DE MATERIAU
- 专利标题(英): Method for treating and directly bonding a layer of material
- 专利标题(中): 方法用于治疗和直接的材料层约束力
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申请号: EP12775522.1申请日: 2012-10-24
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公开(公告)号: EP2771911B1公开(公告)日: 2015-09-16
- 发明人: MORICEAU, Hubert , FOURNEL, Franck , MORALES, Christophe , RAUER, Caroline
- 申请人: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- 申请人地址: 25, rue Leblanc Bâtiment "Le Ponant D" 75015 Paris FR
- 专利权人: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- 当前专利权人: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- 当前专利权人地址: 25, rue Leblanc Bâtiment "Le Ponant D" 75015 Paris FR
- 代理机构: Ahner, Philippe
- 优先权: FR1159722 20111026
- 国际公布: WO2013060729 20130502
- 主分类号: H01L21/762
- IPC分类号: H01L21/762
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