发明公开
- 专利标题: Vakuumpumpe
- 专利标题(英): Vacuum pump
- 专利标题(中): 真空泵
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申请号: EP14153982.5申请日: 2014-02-05
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公开(公告)号: EP2772650A3公开(公告)日: 2015-12-16
- 发明人: Schill, Michael
- 申请人: PFEIFFER VACUUM GMBH
- 申请人地址: Berliner Strasse 43 35614 Asslar DE
- 专利权人: PFEIFFER VACUUM GMBH
- 当前专利权人: PFEIFFER VACUUM GMBH
- 当前专利权人地址: Berliner Strasse 43 35614 Asslar DE
- 代理机构: Manitz, Finsterwald & Partner GbR
- 优先权: DE102013203421 20130228
- 主分类号: F04D19/04
- IPC分类号: F04D19/04 ; F04D29/58
摘要:
Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einem Pumpeneinlass (10), einem Pumpenauslass (14) und einem zwischen dem Pumpeneinlass (10) und dem Pumpenauslass (14) angeordneten Pumpenraum (18) für ein zu pumpendes Gas, sowie mit zumindest einem Kühlgaseinlass (48) für ein Kühlgas zur Kühlung der Vakuumpumpe und mit einem oder mehreren mit dem Kühlgaseinlass (48) gasleitend verbundenen und außerhalb des Pumpenraums (18) angeordneten Hohlbereichen (50, 52, 54) für das Kühlgas, wobei der oder jeder Hohlbereich (50, 52, 54) durch wenigstens eine Komponente (22, 58, 74) der Vakuumpumpe begrenzt ist.
公开/授权文献
- EP2772650B1 Vakuumpumpe 公开/授权日:2017-04-05
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