- 专利标题： METHOD AND APPARATUS OF TUNING A SCANNING PROBE MICROSCOPE
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申请号： EP12848207.2申请日： 2012-11-12
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公开(公告)号： EP2776851B1公开(公告)日： 2024-06-19
- 专利权人： Bruker Nano, Inc.,Su, Chanmin,Silva, Paul,Huang, Lin,Pittenger, Bede,Hu, Shuiqing
- 当前专利权人： Bruker Nano, Inc.,Su, Chanmin,Silva, Paul,Huang, Lin,Pittenger, Bede,Hu, Shuiqing
- 当前专利权人地址： 112 Robin Hill Road; 7023 Etna Court; 624 Andamar Way; 162 Kingston Avenue; 1222 Carpinteria Street Unit C; 175 North Kellogg Avenue Apt. A
- 代理机构： Winter, Brandl - Partnerschaft mbB
- 优先权： US 1161558970P 2011.11.11
- 国际申请： US2012064690 2012.11.12
- 国际公布： WO2013071244 2013.05.16
- 主分类号： G01Q30/04
- IPC分类号： G01Q30/04 ; G01Q60/34 ; G01Q40/00
公开/授权文献
- EP2776851A1 METHOD AND APPARATUS OF TUNING A SCANNING PROBE MICROSCOPE 公开/授权日：2014-09-17
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