- 专利标题： ELECTRON-BOMBARDED CHARGE-COUPLED DEVICE (EBCCD) AND INSPECTION SYSTEMS USING EBCCD DETECTORS
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申请号： EP12857499.3申请日： 2012-12-11
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公开(公告)号： EP2791961B1公开(公告)日： 2019-06-05
- 发明人: CHUANG, Yung-Ho Alex , LIU, Xuefeng , FIELDEN, John , BROWN, David L.
- 申请人： Kla-Tencor Corporation
- 申请人地址： One Technology Drive Milpitas, California 95035 US
- 专利权人： Kla-Tencor Corporation
- 当前专利权人： Kla-Tencor Corporation
- 当前专利权人地址： One Technology Drive Milpitas, California 95035 US
- 代理机构： FRKelly
- 优先权： US201161569611P 20111212; US201213710315 20121210
- 国际公布： WO2013090261 20130620
- 主分类号： H01J31/26
- IPC分类号： H01J31/26 ; G01N21/95 ; H01L27/14
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