发明授权
- 专利标题： Dry etching method
- 专利标题（中）： 干法蚀刻法
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申请号： EP14001853.2申请日： 2014-05-28
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公开(公告)号： EP2808423B1公开(公告)日： 2017-08-02
- 发明人: Kikuchi, Akiou , Takeda, Yuta
- 申请人： Central Glass Company, Limited
- 申请人地址： 5253 Oaza Okiube Ube-shi Yamaguchi 755-0001 JP
- 专利权人： Central Glass Company, Limited
- 当前专利权人： Central Glass Company, Limited
- 当前专利权人地址： 5253 Oaza Okiube Ube-shi Yamaguchi 755-0001 JP
- 代理机构： dompatent von Kreisler Selting Werner - Partnerschaft von Patent- und Rechtsanwälten mbB
- 优先权： JP2013116250 20130531
- 主分类号： C23F1/12
- IPC分类号： C23F1/12 ; C23F4/02 ; H01L21/3213
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