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发明公开
EP2843238A2 Vakuumpumpe in der unterschiedliche Module entweder mit unterschiedlichen Drehzahlen betrieben werden können oder von unterschiedlichen Gasströmen durchströmt werden können 审中-公开
在不同的模块真空泵可以以不同的速度进行操作，或者可以通过不同的气体流中流动

  • 专利标题： Vakuumpumpe in der unterschiedliche Module entweder mit unterschiedlichen Drehzahlen betrieben werden können oder von unterschiedlichen Gasströmen durchströmt werden können
  • 专利标题（英）： Vacuum pump in which different modules either can be driven with different speeds or can be traversed by different gas flows
  • 专利标题（中）： 在不同的模块真空泵可以以不同的速度进行操作，或者可以通过不同的气体流中流动
  • 申请号： EP14181310.5
    申请日： 2014-08-18
  • 公开(公告)号： EP2843238A2
    公开(公告)日： 2015-03-04
  • 发明人: Shirinov, Aleksandr , Oberbeck, Sebastian , Latta, Sebastian , Gogol, Torsten
  • 申请人： PFEIFFER VACUUM GMBH
  • 申请人地址： Berliner Strasse 43 35614 Asslar DE
  • 专利权人： PFEIFFER VACUUM GMBH
  • 当前专利权人： PFEIFFER VACUUM GMBH
  • 当前专利权人地址： Berliner Strasse 43 35614 Asslar DE
  • 代理机构： Manitz, Finsterwald & Partner GbR
  • 优先权： DE102013216593 20130821
  • 主分类号： F04D19/04
  • IPC分类号： F04D19/04 ;  F04D19/02 ;  F04D25/16 ;  F04D27/02
Vakuumpumpe in der unterschiedliche Module entweder mit unterschiedlichen Drehzahlen betrieben werden können oder von unterschiedlichen Gasströmen durchströmt werden können
摘要：
Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit einem Pumpeneinlass sowie mit wenigstens einem Hochvakuumpumpmodul und wenigstens einem Grobvakuumpumpmodul, die in einem gemeinsamen Gehäuse der Vakuumpumpe angeordnet sind und zur Bereitstellung einer Pumpwirkung für ein an dem Pumpeneinlass anstehendes Gas miteinander wirk-verbunden sind. Die Wirkverbindung ist veränderlich und/oder verstellbar, um das Verhältnis der von dem Hochvakuumpumpmodul bereitgestellten Saugleistung zu der von dem Grobvakuumpumpmodul bereitgestellten Saugleistung zu verändern.
摘要（中）：

本发明涉及一种具有泵入口的真空泵和与至少一个高真空泵模块和至少一个粗真空泵模块，其被布置在真空泵的一个共同的壳体和可操作地连接以提供用于即将到来的相互抽吸作用到泵入口气体。 的操作性连接是可变的和/或可调节的，以改变由高真空泵由低真空泵模块吸入提供的模块提供的抽吸的比率。

摘要（英）：

The invention relates to a vacuum pump having a pump inlet as well as with at least one high vacuum pump module and at least a rough vacuum pump module, which are arranged in a common housing of the vacuum pump and are operatively-connected to one another to provide a pumping action for an upcoming to the pump inlet gas. The operative connection is changeable and / or adjustable to change the ratio of the suction provided by the high vacuum pump module to the suction provided by the roughing vacuum pump module.

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