发明授权
- 专利标题： A pellicle
- 专利标题（中）： 薄皮
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申请号： EP14182098.5申请日： 2014-08-25
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公开(公告)号： EP2860583B1公开(公告)日： 2016-07-13
- 发明人: Horikoshi, Jun
- 申请人： SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD
- 申请人地址： 6-1, Ohtemachi 2-chome Chiyoda-ku Tokyo 100-0004 JP
- 专利权人： SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD
- 当前专利权人： SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD
- 当前专利权人地址： 6-1, Ohtemachi 2-chome Chiyoda-ku Tokyo 100-0004 JP
- 代理机构： TBK
- 优先权： JP2013196840 20130924
- 主分类号： G03F1/64
- IPC分类号： G03F1/64 ; G03F1/00
公开/授权文献
- EP2860583A3 A pellicle 公开/授权日：2015-05-20
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