发明授权
EP3041850B1 2,2,4,4- TETRASILYLPENTASILANE AND ITS COMPOSITIONS, METHODS AND USES
有权
2,2,4,4-四乙基五硅烷及其组合物，方法和用途
- 专利标题： 2,2,4,4- TETRASILYLPENTASILANE AND ITS COMPOSITIONS, METHODS AND USES
- 专利标题（中）： 2,2,4,4-四乙基五硅烷及其组合物，方法和用途
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申请号： EP14766329.8申请日： 2014-09-03
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公开(公告)号： EP3041850B1公开(公告)日： 2017-11-15
- 发明人: ZHOU, Xiaobing
- 申请人： Dow Corning Corporation
- 申请人地址： 2200 West Salzburg Road Midland, Michigan 48686-0994 US
- 专利权人： Dow Corning Corporation
- 当前专利权人： Dow Corning Corporation
- 当前专利权人地址： 2200 West Salzburg Road Midland, Michigan 48686-0994 US
- 代理机构： Murgitroyd & Company
- 优先权： US201361874064P 20130905
- 国际公布： WO2015034855 20150312
- 主分类号： C07F7/02
- IPC分类号： C07F7/02 ; C01B33/04 ; C23C16/24 ; H01L21/02 ; C23C18/12
摘要：
A compound that is 2,2,4,4-tetrasilylpentasilane, chemical compositions comprising same, methods of making and purifying 2,2,4,4-tetrasilylpentasilane, the purified 2,2,4,4-tetrasilylpentasilane prepared thereby, and methods of forming silicon-containing materials using 2,2,4,4-tetrasilylpentasilane as a precursor.
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