- 专利标题： INTERFACE FOR ION SOURCE AND VACUUM HOUSING
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申请号： EP14772185.6申请日： 2014-09-17
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公开(公告)号： EP3047507B1公开(公告)日： 2019-06-26
- 发明人: HESSE, Anthony , O'BRIEN, Stephen , TRIVETT, Ian
- 申请人： Micromass UK Limited
- 申请人地址： Stamford Avenue Altrincham Road Wilmslow SK9 4AX GB
- 专利权人： Micromass UK Limited
- 当前专利权人： Micromass UK Limited
- 当前专利权人地址： Stamford Avenue Altrincham Road Wilmslow SK9 4AX GB
- 代理机构： Dehns
- 优先权： GB201316777 20130920; EP13185448 20130920
- 国际公布： WO2015040383 20150326
- 主分类号： H01J49/00
- IPC分类号： H01J49/00 ; G01N27/62 ; H01J49/04 ; H01J49/10 ; H01J49/02
公开/授权文献
- EP3047507A1 INTERFACE FOR ION SOURCE AND VACUUM HOUSING 公开/授权日：2016-07-27
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