- 专利标题： MIKROMECHANISCHES BAUTEIL MIT GETEILTER, GALVANISCH ISOLIERTER AKTIVER STRUKTUR UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINES SOLCHEN BAUTEILS
- 专利标题（英）： MICROMECHANICAL COMPONENT HAVING A SPLIT, GALVANICALLY ISOLATED ACTIVE STRUCTURE, AND METHOD FOR OPERATING SUCH A COMPONENT
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申请号： EP15704463.7申请日： 2015-02-11
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公开(公告)号： EP3110746B1公开(公告)日： 2019-07-03
- 发明人: SPAHLINGER, Günter
- 申请人： Northrop Grumman LITEF GmbH
- 申请人地址： Lörracher Strasse 18 79115 Freiburg DE
- 专利权人： Northrop Grumman LITEF GmbH
- 当前专利权人： Northrop Grumman LITEF GmbH
- 当前专利权人地址： Lörracher Strasse 18 79115 Freiburg DE
- 代理机构： Müller Hoffmann & Partner
- 优先权： DE102014002823 20140225
- 国际公布： WO2015128062 20150903
- 主分类号： B81B3/00
- IPC分类号： B81B3/00 ; G01C19/5719
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