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发明公开
EP3110772A1 METHOD AND APPARATUS FOR OXIDATION OF TWO-DIMENSIONAL MATERIALS 审中-公开
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR OXIDATION VON ZWEIDIMENSIONALEN MATERIALIEN

METHOD AND APPARATUS FOR OXIDATION OF TWO-DIMENSIONAL MATERIALS
摘要：
In accordance with an example embodiment of the present invention, a method is disclosed. The method comprises providing a two-dimensional object comprising a lll-V group material, e.g. Boron nitride (BN), Boron carbon nitride (BCN), Aluminium nitride (AIN), Gallium nitride (GaN), Indium Nitride (InN), Indium phosphide (InP), Indium arsenide (InAs), Boron phosphide (BP), Boron arsenide (BAs), and Gallium phosphide (GaP) and/or a Transition Metal Dichalcogenides (TMD) group material, e.g Molybdenum sulfide (MoS2), Molybdenum diselenide (MoSe2), Tungsten sulfide (WS2), Tungsten diselenide (WSe2), Niobium sulfide (NbS2), Vanadium sulfide (VS2,), and Tantalum sulfide(TaS2) into an environment comprising oxygen; and exposing at least one part of the two-dimensional object to photonic irradiation in said environment, thereby oxidizing at least part of the material of the exposed part of the two-dimensional object.
摘要（中）：

根据本发明的示例性实施例，公开了一种方法。 该方法包括提供包含III-V族材料的二维物体，例如。 氮化硼（BN），氮化硼（BCN），氮化铝（AlN），氮化镓（GaN），氮化铟（InN），磷化铟（InP），砷化铟（InAs），磷化硼（BP） 砷化物（BAs）和磷化镓（GaP）和/或过渡金属二硫属元素（TMD）组材料，例如硫化钼（MoS2），二硒化钼（MoSe2），硫化钨（WS2），二硒化钨（WSe2），铌 硫化物（NbS2），硫化钒（VS2）和钽硫化物（TaS2）转化为包含氧的环境; 以及将所述二维物体的至少一部分暴露于所述环境中的光子照射，从而氧化所述二维物体的暴露部分的材料的至少一部分。

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