发明授权
- 专利标题： SYSTEM AND METHOD OF PERFORMING SCANNING PROBE MICROSCOPY ON A SUBSTRATE SURFACE
-
申请号： EP15738770.5申请日： 2015-07-03
-
公开(公告)号： EP3164720B1公开(公告)日： 2021-09-29
- 发明人: SADEGHIAN MARNANI, Hamed , WINTERS, Jasper , CROWCOMBE, William Edward , VAN DEN DOOL, Teunis Cornelis , KRAMER, Geerten Frans Ijsbrand
- 专利权人： Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
- 当前专利权人： Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
- 当前专利权人地址： Anna van Buerenplein 1 2595 DA 's-Gravenhage NL
- 代理机构： V.O.
- 优先权： EP14175830 20140704
- 国际公布： WO2016003281 20160107
- 主分类号： G01Q10/06
- IPC分类号： G01Q10/06 ; G01Q70/02
公开/授权文献
信息查询
