- 专利标题： METHOD FOR PRODUCING CYCLIC SILANE USING CONCENTRATION METHOD AND METHOD FOR PRODUCING POLYSILANE
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申请号： EP15821599.6申请日： 2015-07-14
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公开(公告)号： EP3170792B1公开(公告)日： 2020-09-09
- 发明人: Goto, Yuichi , Nagai, Kentaro , Endo, Masahisa , Son, Gun
- 申请人： Thin Film Electronics ASA
- 申请人地址： Fridtjof Nansen plass 5 Oslo 0160 NO
- 专利权人： Thin Film Electronics ASA
- 当前专利权人： Thin Film Electronics ASA
- 当前专利权人地址： Fridtjof Nansen plass 5 Oslo 0160 NO
- 代理机构： Berggren Oy, Tampere
- 优先权： JP2014145818 20140716
- 国际公布： WO2016010038 20160121
- 主分类号： C01B33/04
- IPC分类号： C01B33/04
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