- 专利标题： HIGH VOLTAGE GENERATOR
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申请号： EP15762949.4申请日： 2015-08-27
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公开(公告)号： EP3199000B1公开(公告)日： 2021-03-31
- 发明人: ZYWICKI, Janusz , HADLAND, Roger
- 专利权人： Nikon Metrology NV
- 当前专利权人： Nikon Metrology NV
- 当前专利权人地址： Geldenaaksebaan 329 3001 Leuven BE
- 代理机构： Hoffmann Eitle
- 优先权： GB201417121 20140926
- 国际公布： WO2016045905 20160331
- 主分类号： H05G1/20
- IPC分类号： H05G1/20 ; H05G1/32 ; H05G1/26
公开/授权文献
- EP3199000A1 HIGH VOLTAGE GENERATOR 公开/授权日：2017-08-02
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