- 专利标题： DEVICE FOR MANUFACTURING GROUP-III NITRIDE SINGLE CRYSTAL, METHOD FOR MANUFACTURING GROUP-III NITRIDE SINGLE CRYSTAL USING SAME, AND ALUMINUM NITRIDE SINGLE CRYSTAL
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申请号： EP15858289.0申请日： 2015-11-09
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公开(公告)号： EP3219833B1公开(公告)日： 2019-06-26
- 发明人: NAGASHIMA, Toru , FUKUDA, Masayuki
- 申请人： Tokuyama Corporation
- 申请人地址： 1-1 Mikage-cho Shunan-shi, Yamaguchi-ken 745-8648 JP
- 专利权人： Tokuyama Corporation
- 当前专利权人： Tokuyama Corporation
- 当前专利权人地址： 1-1 Mikage-cho Shunan-shi, Yamaguchi-ken 745-8648 JP
- 代理机构： Viering, Jentschura & Partner mbB Patent- und Rechtsanwälte
- 优先权： JP2014228482 20141110; JP2015101281 20150518
- 国际公布： WO2016076270 20160519
- 主分类号： C30B29/40
- IPC分类号： C30B29/40 ; C30B25/14
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