- 专利标题： POLYMER COMPOSITE VACUUM COMPONENTS
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申请号： EP16701716.9申请日： 2016-01-13
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公开(公告)号： EP3227654B1公开(公告)日： 2022-04-20
- 发明人: KELLY, Brandon, J. , PERCY, Clinton, L. , HEINBUCH, Scott, C. , BRUCKER, Gerardo, A. , SWINNEY, Timothy, C. , PIWONKA-CORLE, Timothy, R.
- 专利权人： MKS Instruments, Inc.
- 当前专利权人： MKS Instruments, Inc.
- 当前专利权人地址： 2 Tech Drive, Suite 201 Andover, MA 01810 US
- 代理机构： Roberts, David
- 优先权： US201562191140 P 20150710
- 国际公布： WO2016115232 20160721
- 主分类号： G01L21/30
- IPC分类号： G01L21/30
公开/授权文献
- EP3227654A2 POLYMER COMPOSITE VACUUM COMPONENTS 公开/授权日：2017-10-11
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