发明授权
- 专利标题： PROCEDE DE DETERMINATION D'UNE CONTAMINATION INTRODUITE DANS UN MATERIAU SEMI-CONDUCTEUR
- 专利标题（英）： EP3237895B1 - Method for determining contamination introduced into a semiconductor material
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申请号： EP15823682.8申请日： 2015-12-18
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公开(公告)号： EP3237895B1公开(公告)日： 2018-09-12
- 发明人: MARTEL, Benoît , DUBOIS, Sébastien , VEIRMAN, Jordi
- 申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- 申请人地址： 25, Rue Leblanc Bâtiment "Le Ponant D" 75015 Paris FR
- 专利权人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- 当前专利权人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- 当前专利权人地址： 25, Rue Leblanc Bâtiment "Le Ponant D" 75015 Paris FR
- 代理机构： Cabinet Camus Lebkiri
- 优先权： FR1463324 20141224
- 国际公布： WO2016102851 20160630
- 主分类号： G01N27/04
- IPC分类号： G01N27/04 ; G01N27/14 ; H01L21/66
公开/授权文献
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