发明公开
EP3271771A1 EINRICHTUNG ZUR VERSCHWENKUNG EINES SPIEGEL-ELEMENTS MIT ZWEI SCHWENK-FREIHEITSGRADEN UND SENSOR ZUR BESTIMMUNG DER VERSCHWENKUNG
审中-公开
用于摆动具有两个旋转自由度等级的镜子元件和用于检测斜面的传感器的装置
- 专利标题： EINRICHTUNG ZUR VERSCHWENKUNG EINES SPIEGEL-ELEMENTS MIT ZWEI SCHWENK-FREIHEITSGRADEN UND SENSOR ZUR BESTIMMUNG DER VERSCHWENKUNG
- 专利标题（英）： EP3271771A1 - Device for swiveling a mirror element with two degrees of swiveling freedom and sensor for analyzing the swiveling
- 专利标题（中）： 用于摆动具有两个旋转自由度等级的镜子元件和用于检测斜面的传感器的装置
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申请号： EP16710701.0申请日： 2016-03-11
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公开(公告)号： EP3271771A1公开(公告)日： 2018-01-24
- 发明人: HAUF, Markus , SAROV, Yanko
- 申请人： Carl Zeiss SMT GmbH
- 申请人地址： Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen DE
- 专利权人： Carl Zeiss SMT GmbH
- 当前专利权人： Carl Zeiss SMT GmbH
- 当前专利权人地址： Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen DE
- 代理机构： Rau, Schneck & Hübner Patentanwälte Rechtsanwälte PartGmbB
- 优先权： DE102015204874 20150318
- 国际公布： WO2016146541 20160922
- 主分类号： G02B19/00
- IPC分类号： G02B19/00 ; B81B3/00 ; G01C9/00 ; G02B26/08
摘要：
The invention relates to a displacement device (31) for swiveling a mirror element (20) with two degrees of swiveling freedom, comprising an electrode structure having actuator electrodes (37
i , 42), said actuator electrodes (37
i , 42) being comb electrodes, and all actuator electrodes (37
i ) being located in a single plane and the actuator electrodes (37
i , 42) forming a direct drive for swiveling the mirror element (20).
i , 42), said actuator electrodes (37
i , 42) being comb electrodes, and all actuator electrodes (37
i ) being located in a single plane and the actuator electrodes (37
i , 42) forming a direct drive for swiveling the mirror element (20).
信息查询
IPC分类:
| G | 物理 |
| G02 | 光学 |
| G02B | 光学元件、系统或仪器 |
| G02B19/00 | 聚光镜（用于显微镜的入G02B21/08） |
