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EP3299345A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES OPTISCHEN ROHLINGS AUS SYNTHETISCHEM QUARZGLAS 审中-公开
生产合成石英玻璃光学表面的方法

VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES OPTISCHEN ROHLINGS AUS SYNTHETISCHEM QUARZGLAS
摘要:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines optischen Rohlings aus synthetischem Quarzglas durch Verglasen und Umformen eines porösen, eine Längsachse (L) aufweisenden, zylinderförmigen SiO 2 Sootkörpers (1) in einer eine Schmelzform (23) mit Bodenplatte (24) aufweisenden Erhitzungszone (21), umfassend folgende Verfahrensschritte:
(a) Verglasen des SiO2-Sootkörpers (1) in der Erhitzungszone (21) bei einer Verglasungstemperatur unter Bildung eines vollständig verglasten, transparenten Quarzglaskörpers (6), und anschließend
(b) Umformen des verglasten Quarzglaskörpers (6) durch Erweichen in der Schmelzform (23) bei einer Erweichungstemperatur unter Bildung einer viskosen Quarzglasmasse (7), welche das Volumen der Schmelzform (23) ganz oder teilweise ausfüllt, und
(c) Abkühlen der Quarzglasmasse (7) und Entnahme aus der Schmelzform (23) unter Bildung des optischen Rohlings.
Um vollzylindrische Rohlinge aus synthetischem Quarzglas mit reproduzierbar guter Qualität, hoher Reinheit und homogenen, rotations-symmetrischen Eigenschaftsprofilen zu erhalten wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass beim Verglasen gemäß Verfahrensschritt (a) ein vollzylindrischer Quarzglaskörper (6) gebildet wird, und dass beim Umformen in der Schmelzform (23) gemäß Verfahrensschritt (b) der vollzylindrische Quarzglaskörper (6) durch gesteuertes Zuführen mit einem Zentrierungsmittel der Bodenplatte (24) in Kontakt gebracht wird.
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