- 专利标题: VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG EINES ATMOSPHÄRENDRUCK-PLASMAS MITTELS EINES PIEZOELEKTRISCHEN TRANSFORMATORS
- 专利标题(英): DEVICE FOR GENERATING AN ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA WITH A PIEZOELECTRIC TRANSFORMER
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申请号: EP17704434.4申请日: 2017-02-07
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公开(公告)号: EP3417493B1公开(公告)日: 2020-04-15
- 发明人: KUDELA, Pavol , RINNER, Franz , PUFF, Markus
- 申请人: TDK Electronics AG
- 申请人地址: Rosenheimer Strasse 141e 81671 München DE
- 专利权人: TDK Electronics AG
- 当前专利权人: TDK Electronics AG
- 当前专利权人地址: Rosenheimer Strasse 141e 81671 München DE
- 代理机构: Epping - Hermann - Fischer
- 优先权: DE102016102585 20160215
- 国际公布: WO2017140531 20170824
- 主分类号: H01L41/107
- IPC分类号: H01L41/107 ; H05H1/24
公开/授权文献
- EP3417493A1 VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG EINES ATMOSPHÄRENDRUCK-PLASMAS 公开/授权日:2018-12-26
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