- 专利标题： METHOD AND APPARATUS FOR PELLICLE REMOVAL
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申请号： EP18209474.8申请日： 2016-07-27
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公开(公告)号： EP3467586B1公开(公告)日： 2023-03-01
- 发明人: Grenon, Brian J. , Boyette, James
- 专利权人： Bruker Nano, Inc.
- 当前专利权人： Bruker Nano, Inc.
- 当前专利权人地址： 430 S. Congress Avenue, Suite 7 Rave Mask Repair Business Unit Delray Beach, Florida 33435 US
- 代理机构： von Hirschhausen, Helge
- 优先权： US201615190793 20160623
- 主分类号： G03F1/64
- IPC分类号： G03F1/64
公开/授权文献
- EP3467586A1 METHOD AND APPARATUS FOR PELLICLE REMOVAL 公开/授权日：2019-04-10
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