- 专利标题： STRUCTURE FOR CONTROLLING FLASHOVER IN MEMS DEVICES
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申请号： EP18207729.7申请日： 2018-11-22
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公开(公告)号： EP3493238B1公开(公告)日： 2020-08-12
- 发明人: Smith, Arlynn W. , Chilcott, Dan
- 申请人： Elbit Systems of America, LLC
- 申请人地址： 4700 Marine Creek Parkway Fort Worth, TX 76179 US
- 专利权人： Elbit Systems of America, LLC
- 当前专利权人： Elbit Systems of America, LLC
- 当前专利权人地址： 4700 Marine Creek Parkway Fort Worth, TX 76179 US
- 代理机构： K&L Gates LLP
- 优先权： US201715829325 20171201
- 主分类号： H01J29/00
- IPC分类号： H01J29/00 ; H01J29/18 ; H01J31/12
公开/授权文献
- EP3493238A1 STRUCTURE FOR CONTROLLING FLASHOVER IN MEMS DEVICES 公开/授权日：2019-06-05
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