- 专利标题： TRÄGERVORRICHTUNG FÜR EIN FLACHES SUBSTRAT
- 专利标题（英）： SUPPORT DEVICE FOR A FLAT SUBSTRATE
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申请号： EP19155758.6申请日： 2019-02-06
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公开(公告)号： EP3525234A1公开(公告)日： 2019-08-14
- 发明人: Beier, Uwe
- 申请人： Beier, Uwe
- 申请人地址： Hasenweg 8 01458 Ottendorf-Okrilla DE
- 专利权人： Beier, Uwe
- 当前专利权人： Beier, Uwe
- 当前专利权人地址： Hasenweg 8 01458 Ottendorf-Okrilla DE
- 代理机构： Riechelmann & Carlsohn Patentanwälte PartG mbB
- 优先权： DE102018102766 20180207
- 主分类号： H01L21/687
- IPC分类号： H01L21/687
摘要：
Die Erfindung betrifft eine Trägervorrichtung für ein flaches Substrat, wobei die Trägervorrichtung (1) ein erstes Trägerelement (10), ein zweites Trägerelement (20) und ein Klemmelement (30) aufweist, wobei das erste und das zweite Trägerelement (10, 20) miteinander unter Ausbildung eines verbundenen Zustandes lösbar verbindbar sind, dadurch gekennzeichnet, dass
- das erste Trägerelement (10) einen unter Ausbildung einer ersten Substratöffnung (12) umlaufenden Rahmen (11) aufweist, der eine der ersten Substratöffnung (12) zugewandte Stirnseite (15) besitzt, wobei an der Stirnseite (15) ein Steg (17) mit einer Oberseite (18) ausgebildet ist, die einen Haltebereich für das Substrat (91) bildet, so dass dieses mit einem Auflagebereich (95), der an einer Flächenseite (93) des Substrates (91) ausgebildet ist und an den Rand (94) des Substrates (91) angrenzt, auf dem Haltebereich aufliegen kann;
- das zweite Trägerelement (20) einen unter Ausbildung einer zweiten SubstratÖffnung (22) umlaufenden Rahmen (21) aufweist, der eine Innenseite (23) aufweist, die im verbundenen Zustand auf einer Innenseite (13) des ersten Trägerelementes (10) aufliegt, so dass die erste Substratöffnung (12) und die zweite Substratöffnung (22) fluchtend zueinander ausgerichtet sind, und das zweite Trägerelement (20) das Klemmelement (30) trägt; und
- das Klemmelement (30) das Substrat (91), wenn es im verbundenen Zustand mit einer Flächenseite (33) auf dem Haltebereich aufliegt, an seiner anderen Flächenseite (92) kontaktiert und gegen den Steg (17) des ersten Trägerelementes (10) presst.
- das erste Trägerelement (10) einen unter Ausbildung einer ersten Substratöffnung (12) umlaufenden Rahmen (11) aufweist, der eine der ersten Substratöffnung (12) zugewandte Stirnseite (15) besitzt, wobei an der Stirnseite (15) ein Steg (17) mit einer Oberseite (18) ausgebildet ist, die einen Haltebereich für das Substrat (91) bildet, so dass dieses mit einem Auflagebereich (95), der an einer Flächenseite (93) des Substrates (91) ausgebildet ist und an den Rand (94) des Substrates (91) angrenzt, auf dem Haltebereich aufliegen kann;
- das zweite Trägerelement (20) einen unter Ausbildung einer zweiten SubstratÖffnung (22) umlaufenden Rahmen (21) aufweist, der eine Innenseite (23) aufweist, die im verbundenen Zustand auf einer Innenseite (13) des ersten Trägerelementes (10) aufliegt, so dass die erste Substratöffnung (12) und die zweite Substratöffnung (22) fluchtend zueinander ausgerichtet sind, und das zweite Trägerelement (20) das Klemmelement (30) trägt; und
- das Klemmelement (30) das Substrat (91), wenn es im verbundenen Zustand mit einer Flächenseite (33) auf dem Haltebereich aufliegt, an seiner anderen Flächenseite (92) kontaktiert und gegen den Steg (17) des ersten Trägerelementes (10) presst.
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