- 专利标题： SURFACE TREATMENT METHODS AND COMPOSITIONS THEREFOR
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申请号： EP18772478.6申请日： 2018-03-22
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公开(公告)号： EP3602606B1公开(公告)日： 2024-06-26
- 专利权人： FUJIFILM Electronic Materials U.S.A., Inc.
- 当前专利权人： FUJIFILM ELECTRONIC MATERIALS U.S.A., INC.
- 当前专利权人地址： FUJIFILM ELECTRONIC MATERIALS U.S.A., INC.
- 代理机构： Fish & Richardson P.C.
- 优先权： US 1762476182P 2017.03.24
- 国际申请： US2018023697 2018.03.22
- 国际公布： WO2018175682 2018.09.27
- 主分类号： H01L21/02
- IPC分类号： H01L21/02 ; H01L21/3105 ; H01L21/306 ; H01L21/321 ; C09D7/63
公开/授权文献
- EP3602606A1 SURFACE TREATMENT METHODS AND COMPOSITIONS THEREFOR 公开/授权日：2020-02-05
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