发明授权
- 专利标题: MEMS-WANDLER ZUM INTERAGIEREN MIT EINEM VOLUMENSTROM EINES FLUIDS UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN DESSELBEN
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申请号: EP18718833.9申请日: 2018-04-20
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公开(公告)号: EP3612493B1公开(公告)日: 2024-07-10
- 专利权人: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
- 当前专利权人: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
- 当前专利权人地址: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
- 代理机构: König, Andreas Rudolf
- 优先权: DE 2017206766 2017.04.21
- 国际申请: EP2018060222 2018.04.20
- 国际公布: WO2018193109 2018.10.25
- 主分类号: B81B3/00
- IPC分类号: B81B3/00 ; H04R1/24
公开/授权文献
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