- 专利标题： PELLICLE AND METHOD FOR PRODUCING PELLICLE
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申请号： EP18843684.4申请日： 2018-08-01
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公开(公告)号： EP3667417B1公开(公告)日： 2023-06-28
- 发明人: OKU, Hidehiko , HIDE, Ichiro
- 专利权人： Air Water Inc.
- 当前专利权人： Air Water Inc.
- 当前专利权人地址： 12-8, 2-chome, Minami Semba Chuo-ku Osaka-shi Osaka 542-0081 JP
- 代理机构： Hering, Hartmut
- 优先权： JP2017153569 20170808
- 国际公布： WO2019031361 20190214
- 主分类号： G03F1/62
- IPC分类号： G03F1/62 ; G03F1/64 ; G03F7/20 ; C23C16/32 ; H01L21/02 ; H01L21/306
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