HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR MEHRERE MEMS-SCHALLWANDLER
摘要:
Die Erfindung betrifft ein Herstellungsverfahren für mehrere MEMS-Schallwandler (1) mit den folgenden Schritten: Herstellen eines rekonstruierten Wafers (30), wobei mehrere Chips (2) eines Wafers (29) voneinander getrennt, die getrennten Chips (2) voneinander beabstandet angeordnet und mit einer Formmasse (12) umgossen werden; Freistellen zumindest eines Piezoelements (4, 5) der jeweiligen Chips (2), so dass dieses entlang einer Hubachse (8) auslenkbar ist, wobei die Piezoelemente (4, 5), erst nachdem die Chips (2) mit der Formmasse (12) umgossen wurden, freigestellt werden; Verbinden des rekonstruierten Wafers (30) mit mehreren den jeweiligen Chips (2) zugeordneten Membranen (23), wobei die Membrane (23) jeweils mit dem zumindest einen zugeordneten Piezoelement (4, 5) derart verbunden werden, dass die Membrane (23), nachdem die Piezoelemente (4, 5) freigestellt wurden, jeweils gemeinsam mit dem zumindest einen zugeordneten Piezoelement (4, 5) entlang der Hubachse (8) auslenkbar sind; Vereinzelung der MEMS-Schallwandler (1), die jeweils zumindest einen der Chips (2) und eine der Membrane (23) umfassen. Ferner betrifft die Erfindung einen MEMS-Schallwandler der mit dem vorstehenden Herstellungsverfahren hergestellt wurde.
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