- 专利标题: HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR MEHRERE MEMS-SCHALLWANDLER
- 专利标题(英): MANUFACTURING METHOD FOR MULTIPLE MEMS SOUND TRANSDUCERS
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申请号: EP20152246.3申请日: 2020-01-16
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公开(公告)号: EP3684081A1公开(公告)日: 2020-07-22
- 发明人: RUSCONI CLERICI BELTRAMI, Andrea , BOTTONI, Ferruccio , RENAUD-BEZOT, Nick
- 申请人: Usound GmbH
- 申请人地址: Kratkystrasse 2 8020 Graz AT
- 专利权人: Usound GmbH
- 当前专利权人: Usound GmbH
- 当前专利权人地址: Kratkystrasse 2 8020 Graz AT
- 代理机构: Bergmeier, Ulrich
- 优先权: DE102019101227 20190117; DE102019101325 20190118
- 主分类号: H04R31/00
- IPC分类号: H04R31/00 ; H04R17/00
摘要:
Die Erfindung betrifft ein Herstellungsverfahren für mehrere MEMS-Schallwandler (1) mit den folgenden Schritten: Herstellen eines rekonstruierten Wafers (30), wobei mehrere Chips (2) eines Wafers (29) voneinander getrennt, die getrennten Chips (2) voneinander beabstandet angeordnet und mit einer Formmasse (12) umgossen werden; Freistellen zumindest eines Piezoelements (4, 5) der jeweiligen Chips (2), so dass dieses entlang einer Hubachse (8) auslenkbar ist, wobei die Piezoelemente (4, 5), erst nachdem die Chips (2) mit der Formmasse (12) umgossen wurden, freigestellt werden; Verbinden des rekonstruierten Wafers (30) mit mehreren den jeweiligen Chips (2) zugeordneten Membranen (23), wobei die Membrane (23) jeweils mit dem zumindest einen zugeordneten Piezoelement (4, 5) derart verbunden werden, dass die Membrane (23), nachdem die Piezoelemente (4, 5) freigestellt wurden, jeweils gemeinsam mit dem zumindest einen zugeordneten Piezoelement (4, 5) entlang der Hubachse (8) auslenkbar sind; Vereinzelung der MEMS-Schallwandler (1), die jeweils zumindest einen der Chips (2) und eine der Membrane (23) umfassen. Ferner betrifft die Erfindung einen MEMS-Schallwandler der mit dem vorstehenden Herstellungsverfahren hergestellt wurde.
公开/授权文献
- EP3684081B1 HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR MEHRERE MEMS-SCHALLWANDLER 公开/授权日:2022-04-27
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