发明公开
- 专利标题： MATRICE DE PHOTO-DÉTECTEURS À BARRIÈRE AVEC PIXELLISATION PAR DÉPLÉTIONS LOCALES
- 专利标题（英）： PHOTO-DETECTOR ARRAY WITH BARRIER WITH PIXELLATION BY LOCAL DEPLETION
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申请号： EP20155524.0申请日： 2020-02-05
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公开(公告)号： EP3693997A1公开(公告)日： 2020-08-12
- 发明人: BOULARD, François , CERVERA, Cyril , FERRON, Alexandre
- 申请人： Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
- 申请人地址： Bâtiment "Le Ponant D" 25 rue Leblanc 75015 Paris FR
- 专利权人： Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
- 当前专利权人： Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
- 当前专利权人地址： Bâtiment "Le Ponant D" 25 rue Leblanc 75015 Paris FR
- 代理机构： Brevalex
- 优先权： FR1901220 20190207
- 主分类号： H01L27/146
- IPC分类号： H01L27/146
摘要：
Dispositif de photo-détection (100) comportant une matrice de pixels, où chaque pixel (10) comprend un photo-détecteur à barrière. La matrice de pixels comporte une couche d'absorption (110), une couche barrière (120), une couche de contact (130), et au moins un élément de séparation (150, 160) pour délimiter les pixels.
L'au moins un élément de séparation (150, 160) s'étend au-dessus de la couche de contact (130), et permet de former au moins une zone de déplétion qui s'étend localement dans la couche de contact (130), pour bloquer la circulation latérale des porteurs de charges.
L'au moins un élément de séparation (150, 160) s'étend au-dessus de la couche de contact (130), et permet de former au moins une zone de déplétion qui s'étend localement dans la couche de contact (130), pour bloquer la circulation latérale des porteurs de charges.
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