- 专利标题: PROBE, METHOD OF MANUFACTURING A PROBE AND SCANNING PROBE MICROSCOPY SYSTEM
-
申请号: EP18836933.4申请日: 2018-10-31
-
公开(公告)号: EP3704495A1公开(公告)日: 2020-09-09
- 发明人: HERFST, Roelof, Willem , DEKKER, Albert , BIJNAGTE, Anton, Adriaan , BIEMOND, Jan, Jacobus, Benjamin
- 申请人: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO
- 申请人地址: Anna van Buerenplein 1 2595 DA 's-Gravenhage NL
- 专利权人: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO
- 当前专利权人: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO
- 当前专利权人地址: Anna van Buerenplein 1 2595 DA 's-Gravenhage NL
- 代理机构: V.O.
- 优先权: EP17199494 20171101
- 国际公布: WO2019088833 20190509
- 主分类号: G01Q70/10
- IPC分类号: G01Q70/10
公开/授权文献
信息查询