- 专利标题： PROCEDE DE FABRICATION D'UNE COUCHE CRISTALLINE DE MATERIAU PZT ET SUBSTRAT POUR CROISSANCE PAR EPITAXIE D'UNE COUCHE CRISTALLINE DE MATERIAU PZT
- 专利标题（英）： METHOD FOR MANUFACTURING A CRYSTALLINE LAYER OF PZT MATERIAL, AND SUBSTRATE FOR EPITAXIALLY GROWING A CRYSTALLINE LAYER OF PZT MATERIAL
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申请号： EP19722177.3申请日： 2019-03-26
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公开(公告)号： EP3775332A1公开(公告)日： 2021-02-17
- 发明人: GHYSELEN, Bruno
- 申请人： SOITEC
- 申请人地址： FR 38190 Bernin Parc Technologique des Fontaines Chemin des Franques
- 代理机构： Grünecker Patent- und Rechtsanwälte PartG mbB
- 优先权： FR1800253 20180328
- 国际公布： WO2019186264 20191003
- 主分类号： C30B23/02
- IPC分类号： C30B23/02 ; C30B25/18 ; C30B29/22 ; H01L21/762 ; C30B33/06
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