- 专利标题： INTERFEROMETRIC MEASURING DEVICE
-
申请号： EP19195284.5申请日： 2019-09-04
-
公开(公告)号： EP3789727B1公开(公告)日： 2024-04-10
- 发明人: AM WEG, Christian , DRABAREK, Pawel , EISWIRT, Peter , MAY, Thilo
- 专利权人： TAYLOR HOBSON LIMITED
- 当前专利权人： TAYLOR HOBSON LIMITED
- 当前专利权人地址： P.O. Box 36, 2 New Star Road Leicester LE4 9JQ GB
- 代理机构： Weilnau, Carsten
- 主分类号： G01B9/0209
- IPC分类号： G01B9/0209 ; G01B9/02055 ; G01B9/02015
公开/授权文献
- EP3789727A1 INTERFEROMETRIC MEASURING DEVICE 公开/授权日：2021-03-10
信息查询
