- 专利标题： CLEANING COMPOSITION WITH CORROSION INHIBITOR
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申请号： EP19838029.7申请日： 2019-07-18
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公开(公告)号： EP3824059A1公开(公告)日： 2021-05-26
- 发明人: WHITE, Daniela , THOMAS, Elizabeth , LIU, Jun , WHITE, Michael , WANG, Chao-Yu , FRYE, Donald
- 申请人： Entegris, Inc.
- 申请人地址： US Billerica, MA 01821 129 Concord Road
- 代理机构： Greaves Brewster LLP
- 优先权： US201862701198 P 20180720
- 国际公布： WO2020018804 20200123
- 主分类号： C11D3/00
- IPC分类号： C11D3/00 ; C11D3/04 ; C11D3/28 ; C11D3/20 ; H01L21/02 ; H01L21/321
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