发明公开
- 专利标题： CHEMICAL LIQUID MANUFACTURING APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING CHEMICAL LIQUID
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申请号： EP19875207.3申请日： 2019-10-23
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公开(公告)号： EP3870960A1公开(公告)日： 2021-09-01
- 发明人: HINZIE, Bryan , COLE-YOCOM, Marcia
- 申请人： FUJIFILM Electronic Materials U.S.A, Inc.
- 申请人地址： US North Kingstown, Rhode Island 02852 80 Circuit Drive
- 代理机构： Becker, Eberhard
- 优先权： US201862750004 P 20181024
- 国际公布： WO2020086772 20200430
- 主分类号： G01N23/044
- IPC分类号： G01N23/044 ; H01J35/06 ; H01L21/66
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