- 专利标题: CLEANING METHOD FOR WORKPIECE
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申请号: EP21154114.9申请日: 2021-01-28
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公开(公告)号: EP3878567B1公开(公告)日: 2023-06-07
- 发明人: KAWAMORI, Yoshiteru
- 专利权人: Sugino Machine Limited
- 当前专利权人: Sugino Machine Limited
- 当前专利权人地址: 2880 Kuriyama Namerikawa City, Toyama 936-8577 JP
- 代理机构: Global IP Europe Patentanwaltskanzlei
- 优先权: JP2020039597 20200309
- 主分类号: B08B3/02
- IPC分类号: B08B3/02 ; B08B13/00
公开/授权文献
- EP3878567A1 CLEANING METHOD FOR WORKPIECE AND CLEANING APPARATUS 公开/授权日:2021-09-15
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