发明公开
- 专利标题： CHEMICAL LIQUID MANUFACTURING APPARATUS AND MANUFACTURING METHOD OF CHEMICAL LIQUID
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申请号： EP19888213.6申请日： 2019-11-21
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公开(公告)号： EP3883663A1公开(公告)日： 2021-09-29
- 发明人: COLE-YOCOM, Marcia , HINZIE, Bryan , CHEN, Yuan , HELZER, Jack W. , AHMADIANNAMINI, Pejman
- 申请人： FUJIFILM Electronic Materials U.S.A, Inc.
- 申请人地址： US North Kingstown, Rhode Island 02852 80 Circuit Drive
- 代理机构： Becker, Eberhard
- 优先权： US201862770722 P 20181121
- 国际公布： WO2020106912 20200528
- 主分类号： B01D15/18
- IPC分类号： B01D15/18 ; B01D15/36 ; B01D61/02 ; B01D61/08
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