- 专利标题： SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD,
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申请号： EP21181846.3申请日： 2021-06-25
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公开(公告)号： EP3932615B1公开(公告)日： 2023-08-16
- 发明人: MITSUYA, Takashi , MATSUGU, Asagi , SAITO, Ayumu
- 专利权人： EBARA CORPORATION
- 当前专利权人： EBARA CORPORATION
- 当前专利权人地址： 11-1, Haneda Asahi-cho Ota-ku, Tokyo 144-8510 JP
- 代理机构： Carstens, Dirk Wilhelm
- 优先权： JP2020111535 20200629
- 主分类号： B24B37/04
- IPC分类号： B24B37/04 ; B24B49/08 ; B24B49/10 ; B24B49/12 ; B24B49/16 ; B24B37/005 ; B24B37/32
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