- 专利标题： HOLLOW-CORE PHOTONIC CRYSTAL FIBER BASED BROADBAND RADIATION GENERATOR
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申请号： EP21189551.1申请日： 2021-08-04
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公开(公告)号： EP3964888B1公开(公告)日： 2024-05-15
- 专利权人： ASML Netherlands B.V.
- 当前专利权人： ASML Netherlands B.V.
- 当前专利权人地址： P.O. Box 324
- 代理机构： ASML Netherlands B.V.
- 优先权： EP 20194353 2020.09.03
- 主分类号： G02F1/35
- IPC分类号： G02F1/35 ; G03F7/20 ; G02B6/02 ; G02F1/365
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