Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das Auftrennen auch von dünnen Gläsern verlässlich in einem stabilen Prozess zu ermöglichen. Dazu ist ein Verfahren vorgesehen, bei welchem
- eine Glasfolie (1) mit einer Dicke von höchstens 300 µm bereitgestellt, und
- die Glasfolie (1) mit einem gepulsten Laserstrahl (5) eines Ultrakurzpulslasers (3) bestrahlt wird, wobei - die Lichtintensität des Laserstrahls (5) im Inneren der Glasfolie (1) so groß ist, dass der Laserstrahl (5) entlang seines Weges durch die Glasfolie (1) eine filamentförmige Schädigung (9) hinterlässt, und wobei
- der Laserstrahl (5) und die Glasfolie (1) relativ zueinander bewegt werden, so dass durch die Pulse des Laserstrahls (5) nebeneinander entlang eines auf der Glasfolie (1) verlaufenden Pfades (11) filamentförmige Schädigungen (9) eingefügt werden, und wobei
- während des Einfügens der filamentförmigen Schädigungen (9) eine Zugspannung zumindest auf eine Oberfläche der Glasfolie (1) ausgeübt wird, welche auf das Glas an den filamentförmigen Schädigungen (9) und bevorzugt in Richtung quer zum Pfad (11) der nebeneinanderliegenden filamentförmigen Schädigungen (9) wirkt, so dass
- die Glasfolie (1) sich während des Einfügens der filamentförmigen Schädigungen (9) entlang des Pfades (11) auftrennt.