- 专利标题： MULTIPLE ANGLES OF INCIDENCE SEMICONDUCTOR METROLOGY SYSTEM
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申请号： EP21199265.6申请日： 2014-09-15
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公开(公告)号： EP3971950B1公开(公告)日： 2024-11-06
- 发明人: WANG, David Y. , FLOCK, Klaus , ROTTER, Lawrence D. , KRISHNAN, Shankar , DE VEER, Johannes D. , FILIP, Catalin , BRADY, Gregory , ARAIN, Muzammil , SHCHEGROV, Andrei
- 专利权人： Kla-Tencor Corporation
- 当前专利权人： Kla-Tencor Corporation
- 当前专利权人地址： One Technology Drive Milpitas, California 95035 US
- 代理机构： FRKelly
- 优先权： US201314043783 20131001
- 主分类号： G01B11/06
- IPC分类号： G01B11/06 ; G01N21/21 ; G01N21/88 ; G01N21/95 ; H01L21/66
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