- 专利标题： SYSTEMS AND METHODS FOR CHARACTERIZING OPTICAL COUPLING BETWEEN AN OPTICAL PROBE AND A CALIBRATION STRUCTURE
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申请号： EP20872096.1申请日： 2020-09-23
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公开(公告)号： EP4038395A1公开(公告)日： 2022-08-10
- 发明人: FRANKEL, Joseph George , NEGISHI, Kazuki
- 申请人： FormFactor, Inc.
- 申请人地址： US Livermore, California 94551 7005 Southfront Road
- 代理机构： Willett, Christopher David
- 优先权： US202017028102 20200922
- 国际公布： WO2021067084 20210408
- 主分类号： G01Q40/00
- IPC分类号： G01Q40/00 ; G01R35/00
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