- 专利标题： STRUCTURE COMPOSITE, DESTINÉE À UNE CO-INTÉGRATION PLANAIRE DE COMPOSANTS ÉLECTRONIQUES DE FONCTIONS DIFFÉRENTES
- 专利标题（英）： COMPOSITE STRUCTURE, INTENDED FOR A PLANAR CO-INTEGRATION OF ELECTRONIC COMPONENTS WITH VARIOUS FUNCTIONS
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申请号： EP22167773.5申请日： 2022-04-12
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公开(公告)号： EP4075479A1公开(公告)日： 2022-10-19
- 发明人: ROUMANIE, Marilyne , NAVONE, Christelle , BENAISSA, Lamine
- 申请人： COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
- 申请人地址： FR 75015 Paris Bat Le Ponant 25 rue Leblanc
- 代理机构： Germain Maureau
- 优先权： FR2103985 20210416
- 主分类号： H01L21/02
- IPC分类号： H01L21/02
摘要：
Structure composite (100), destinée à une co-intégration planaire de composants électroniques de fonctions différentes, la structure composite (100) comprenant de sa base vers sa surface :
- un substrat support (1) en un premier matériau, le substrat support (1) comportant des cavités (2) débouchant chacune dans une face supérieure (3) du substrat support (1), les cavités (2) étant comblées par au moins un matériau composite (5) constitué d'une matrice (4) d'un polymère précéramique réticulé, la matrice (4) étant chargée de particules inorganiques,
- un film mince (9) en un deuxième matériau, le film mince (9) étant collé à la face supérieure (3) du substrat support (1) et au matériau composite (5).
- un substrat support (1) en un premier matériau, le substrat support (1) comportant des cavités (2) débouchant chacune dans une face supérieure (3) du substrat support (1), les cavités (2) étant comblées par au moins un matériau composite (5) constitué d'une matrice (4) d'un polymère précéramique réticulé, la matrice (4) étant chargée de particules inorganiques,
- un film mince (9) en un deuxième matériau, le film mince (9) étant collé à la face supérieure (3) du substrat support (1) et au matériau composite (5).
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