发明公开
- 专利标题： HYBRID CMP CONDITIONING HEAD
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申请号： EP20889571.4申请日： 2020-11-19
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公开(公告)号： EP4084929A1公开(公告)日： 2022-11-09
- 发明人: SLUTZ, David, Earl
- 申请人： Best Engineered Surface Technologies, LLC
- 申请人地址： US Dallas, TX 75232 1601 Elm St. Suite 3500
- 代理机构： Potter Clarkson
- 优先权： US201962937921 P 20191120
- 国际公布： WO2021102190 20210527
- 主分类号： B24B37/04
- IPC分类号： B24B37/04
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